水浸超聲顯微鏡是一種基于高頻超聲波的無損檢測設備,通過液體耦合介質(通常為水)穿透材料內部,對缺陷進行高分辨率成像。用于檢測材料內部的微小缺陷(如裂紋、空洞、分層、夾雜等),檢測精度可達微米級,能夠識別半導體、電子元件、航空航天部件等復雜結構中的微小缺陷。
通過超聲波換能器發(fā)射高頻超聲波,經液體耦合進入材料內部,缺陷處形成不同反射/折射波,收集并分析這些波的強度和方向,生成缺陷的超聲強度圖像。
水浸超聲顯微鏡以水為耦合介質,通過高頻超聲換能器發(fā)射超聲波,超聲波在材料中傳播,當遇到材料內部的缺陷或不同介質的界面時,部分能量會被反射回來,換能器接收反射回來的超聲波,并將其轉換成電信號,經過軟件數(shù)據(jù)處理,構建出二維的 C 掃描圖像,從而實現(xiàn)對材料內部結構的可視化檢測。
結構組成:主要包括工業(yè)電腦、采集分析軟件、超聲換能器、工控機、水循環(huán)系統(tǒng)、不銹鋼框架結構及運動模組等。其中,運動模塊負責超聲換能器的聚焦、掃描運動等;超聲的發(fā)射與采集模塊負責聲學通路的信號發(fā)射與獲取;工業(yè)主機負責控制運動和采集過程,并對采集的回波數(shù)據(jù)進行圖像處理與顯示。
產品特點:可兼容多種頻率的超聲探頭,具備定量分析功能,能以圖像方式直觀顯示被測件內部缺陷的位置、形狀和大小,并進行缺陷的尺寸和面積統(tǒng)計等;檢測軟件自主研發(fā),操作界面友好,可根據(jù)客戶需求對功能進行持續(xù)升級。
廣泛應用于新能源、半導體、電力電子、熱管理材料、金剛石復合材料、碳纖維復合材料等行業(yè)。例如在半導體行業(yè),可用于檢測芯片封裝內部的缺陷,如分層、空洞等;在新能源行業(yè),可用于檢測鋰電池內部的結構缺陷。